▌▌系統(tǒng)要求

該客戶是半導體行業(yè)中領先的晶圓制造公司，需要一個可以在CMP工藝過程中定位損壞和缺陷的檢查系統(tǒng)。由于晶片的特性材料，對表面純度和平面度進行無損，非接觸式，波長敏感的視覺檢查至關重要。視覺檢查系統(tǒng)需要與自動化機器人處理系統(tǒng)同步，以提高生產率。在線視覺檢測設備的目標是在保持生產率水平的同時提供高精度分析。客戶一直在尋找能夠快速執(zhí)行且具有高度精確的在線檢查功能的完整系統(tǒng)。客戶還希望減少安裝/維護工作量，因為存在許多不同種類的晶圓和缺陷類型。

▌▌系統(tǒng)描述

研華的機器視覺邊緣解決方案已安裝為CMP系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括CMP機械，機器人處理系統(tǒng)，視覺檢查系統(tǒng)和IT數(shù)據(jù)庫的上行數(shù)據(jù)。拋光晶片后，位置傳感器向視覺系統(tǒng)發(fā)送觸發(fā)信號。從不同的攝像機角度獲取了多幅圖像，并將其發(fā)送到視覺系統(tǒng)，在視覺系統(tǒng)中，VisionNavi軟件處理圖像以進行缺陷檢查，然后驗證晶片。如果檢測到缺陷，視覺系統(tǒng)會發(fā)出“ NG”信號來拒絕晶圓，或者發(fā)出“ OK”信號來拾取晶圓以進行下一步處理。圖像數(shù)據(jù)已還原并與客戶當前的企業(yè)數(shù)據(jù)庫集成。

▌▌系統(tǒng)架構

▌▌解決方案組件

• IPC-220： 帶有第六/第七代智能英特爾®酷睿™i CPU插槽的緊湊型工業(yè)計算機系統(tǒng)

• PCIE-1674E-AE：  4端口PCI Express GlgEVision幀捕獲器

• PCIE-1730H：  32通道TTL，32通道隔離的DigitalI / O PCIe卡

• QCAM-GM1440-073CE：  工業(yè)相機

▌▌為什么選擇研華？

研華的機器視覺檢測系統(tǒng)集成了全球快門，高速工業(yè)相機，多通道計算平臺和視覺軟件，因此用戶無需擔心如何選擇兼容的產品。VisionNavi軟件采用圖形化和圖形化設計?；诹鞒虉D的界面，用戶無需任何編程技能即可輕松完成視覺檢查應用程序的開發(fā)和部署。

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